得益于日渐成熟的技术，MEMS传感器在各类电子产品上快速应用，涉及汽ぷ车电子、消费电子、航空航天等多个重要领域。

MEMS 压电薄膜超声换能器技术近年来开拓出较为广阔的市场化〗应用，但由于其技术壁垒较高、研究∩难度较大，仍然存在增加发展速度与提高发展水平的需要。2021年国家“十四五”规划中明确提出实现微机电系统（MEMS）工艺的突破发展。

目前，MEMS超声换能器根据其工作原理可主要分为电容式微纳超声■与压电薄膜微纳超声两▽种。

MEMS 电容式超声换能器（CMUT）基于静电换能器能量转换机理，是基本结构由固定︻不动的电极板（定极板）和活动的柔性薄膜或弹性薄板性状的电极板（动极板）组成的平行板电容器。

MEMS X 压电□　式超声换能器（PMUT)则是基于压电材料的压电效应和逆压电效应，是可以由△单个器件完成声压测量以及声压信号或声能量输出的超声换能器。

近年来，随着对这两种超声换能器深度应用，其表现▂出的优缺点也逐渐明显。MEMS压电式超声换能器相对于电容式而言组件更简单，其电∏阻抗相比CMUT具有更大的电々容，从而具有更低的电阻，受影响程度也相对▲较低，可在同器件上实◥现收发一体，微型化与集成度也相对较高。

奥迪威作为行业领先的传感器制造商，在2022年推出▓了新一代MEMS传感器——AW101 MEMS超声波传感器，首创性地将压电薄◥膜作为功能薄膜与硅基MEMS（微机电）相集成，通过晶圆级MEMS微纳工艺制造，单个芯≡片兼具超声波发射与接收功能。

与传统的超声波传感器相比，奥迪威AW101尺寸ξ　实现了量级缩小，且∮性能也实现了倍级提升，可支√持多种模式场景下的传感器应用，如汽车避障测距、可穿戴设备、材质识别技◢术等，整体性能可靠稳定。

产品基于MEMS大批量微纳工艺，加工精╳度达到1μm，整体尺寸仅有3.6x3.6x1.53mm。

产品可在3-30Vop下进行稳定ξ工作，无需单独升压。在10Vop低电压驱动下可发射110dB高声压，实现精♂准探测。

产品视场达180°，单芯片可实现探测全景覆盖，实现零盲区的检测∏；此外，产品探』测距离可达1m，根据电路设计的不同还能实现更远探测。

产品可与现有ASIC集成为智能监测模组↘，利用现有的应用电路或解决方案，可实现无障碍切换，应用更为∑便捷。可广泛应用于智能家居、汽车电子等众「多领域。

以MEMS为主要应用的技术，是面向21世纪的重要的军民两用技术。未来，随着MEMS传感器的进一步←产业化落地，无疑将深刻影响国民经济和国防科学技术的未来发展。